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TECHNICAL ARTICLESSONIC超声波微液体流量计μLF-300S
用于IPA、纯水、药液等半导体制造工序中微小区域的流量控制
测量1ml/min以上的微小流量利用数字信号处理高精度测量微小流量
-传感器部的结构不与流体接触范围广
μLF-300S
模型 | μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)或 μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸) |
测量原理 | 超声波传播时间差法 |
待测液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 * 使用水以外的液体时,请事先确认。 |
适用流体温度范围 | 15℃~80℃ *60℃以上使用请提前确认 |
流体压力 | 0.5MPa以下 |
流体运动粘度 | 100mm^2/秒或更小 |
流量范围 | 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I) 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I) |
测量精度 | ±0.5%RD(1/8英寸:200~1000ml/min 条件:室温、恒温水) ±1ml/min(1/8英寸:0~199ml/min) ±0.5%RD(1/4英寸: 0~199ml/min) 800~4000ml/min 条件:室温、恒温水) ±4ml/min(1/4英寸:0~799ml/min) |
重复性 | ±0.2%(纯品,液温±0.5℃,30秒平均值) |
电源 | 直流24V±10% |
功耗 | 3.6W以下 |
重量 | 转换器240g,检测器70g |
尺寸 宽x高x深(毫米) | 转换器 97 x 49 x 127 检测器 90 x 25 x 20(不含管) |
检测部分 | |
管材 | PFA(氟树脂) |
管径 | 1/8 英寸外径:3.17 毫米,内径:2.17 毫米,1/4 英寸外径:6.35 毫米,内径:4.35 毫米 |
结构 | 相当于IP65 |
附带电缆 | 5m,连接器连接 |
输入部分 | |
数字输出 | 4 线 RS-422、4 线 RS-485 |
模拟输出 | 4-20mA(瞬时流量),负载电阻500Ω以下 |
集成脉冲输出 | 1ch(集电极开路) |
报警输出 | 1ch(集电极开路) |
接点输入 | 1ch(零流量设置或积分清除) |
按键输入 | 4个输入按钮 |
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